Belichtingsmodule wafers

De Challenge

Belichtingsmodule voor de belichting van wafers in de semiconductor industrie. Deze belichtingsmodule beschikt over verlichting met een speciaal lichtspectrum wat nodig is voor de belichting van deze wafers. Belangrijke voorwaarden zijn:

• Product kwaliteit is hier van zeer groot belang.
• Productie output is hierbij ondergeschikt.
• De belichtingsmodule wordt toegepast in een cleanroom omgeving.

De Solution

Het speciale licht maakte de uitvoering van het project lastig. De materialen moeten tegen het speciale licht bestand zijn en lichtreflecties zijn niet acceptabel. Ontwikkeling, engineering en realisatie is volledig door High Tech Alliance uitgevoerd. Vanwege de cleanroom toepassing was het noodzakelijk dat de componenten allemaal schoon waren en de assemblage werd uitgevoerd in onze eigen cleanroom.

De Businesscase

De ingebruikname is nagenoeg vlekkeloos verlopen en deze belichtingsmodule wordt dagelijks gebruikt voor het belichten van speciale batches waferproducten.